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本实用新型提供了一种片上衰减器，衰减器结构类二维码分布，主体区域为2.4×2.4μm2，将优化区域分为20×20的方形像素点，像素点尺寸为120×120 nm2，自动优化得到满足目标的类二维码结构的衰减器。最终得到5个不同衰减值的衰减器，分...
该专利属于哈尔滨工业大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学深圳研究生院授权不得商用。

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