下载半导体装置和半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:19025337

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本发明提供半导体装置和半导体装置的制造方法。该半导体装置(10)具有:衬底(1);布线(6),其设置在衬底(1)上;由氮化钛构成的反射防止膜(7),其设置在布线(6)上;以及氧化硅膜(3),其设置在反射防止膜(7)上,在形成于氧化硅膜(3)...
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