下载接触插塞布局的制作方法的技术资料

文档序号:19023601

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本发明公开一种接触插塞布局的制作方法,该制作方法包含有以下步骤:(a)接收多个主动区域图案与多个彼此平行的埋藏式栅极图案,该多个主动区域图案分别与二该埋藏式栅极图案重叠以于各该主动区域图案内形成二个重叠区域以及该二个重叠区域之间的一接触插塞...
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