下载用于微纳样品的原位复合加载与测量装置的技术资料

文档序号:19021602

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本发明提供了一种用于微纳样品的原位复合加载与测量装置,在以X、Y、Z为坐标轴的空间直角坐标系中,该装置包括沿X坐标轴的正方向依次设置的左加载调节组件和右加载调节组件,所述左加载调节组件含有沿X坐标轴的正方向依次连接的左部旋转压电陶瓷电机(3...
该专利属于香港城市大学深圳研究院所有,仅供学习研究参考,未经过香港城市大学深圳研究院授权不得商用。

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