【技术实现步骤摘要】
用于微纳样品的原位复合加载与测量装置
本专利技术涉及一种用于微纳样品的原位复合加载与测量装置。
技术介绍
随着纳米技术的发展，微纳米材料被广泛的应用于航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、太阳能/燃料电池化工、石油、岩石、微电子、微型传感器、半导体材料、自动控制、航空航天、汽车工业及机械工具中。材料的微观力学性能与宏观的经典力学性能存在很大的差异。材料的微纳米力学测试的诸多性能参数中材料的拉伸、弯曲和扭转力学性能测试是非常重要的测试对象之一。原位微纳米力学性能测试技术是近几年发展起来的前沿技术，受到各国政府和研究机构的高度关注。相比于宏观的测试技术，原位测试技术可以在电子显微镜的观测下对试件进行原位加载，可以同时对材料的微观变形和损伤过程进行原位观察等诸多优势。然而，现阶段的原位测试技术及仪器，只能实现单个功能的测试，同时多集中在材料的拉伸和弯曲变形上，对材料的扭转测试以及复合加载情况下材料微观变形和损伤关注较少。主要原因在于多功能集成的力学测试平台设计相对复杂，多自由度的机构对于平台控制有着极高的要求，同时原位扭转测试平台对设备的小型化、精度、...
【技术保护点】
1.一种用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，在以X、Y、Z为坐标轴的空间直角坐标系中，该用于微纳样品的原位复合加载与测量装置包括沿X坐标轴的正方向依次设置的左加载调节组件和右加载调节组件，所述左加载调节组件含有沿X坐标轴的正方向依次连接的左部旋转压电陶瓷电机(3)、左部垂直直线压电陶瓷电机(4)和左部水平直线压电陶瓷电机(5)，左部旋转压电陶瓷电机(3)能够驱动左部垂直直线压电陶瓷电机(4)和左部水平直线压电陶瓷电机(5)以X坐标轴为轴旋转，左部垂直直线压电陶瓷电机(4)能够驱动左部水平直线压电陶瓷电机(5)沿Z坐标轴的方向移动，所述右加载调节组件含有沿Z坐标...
【技术特征摘要】
1.一种用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，在以X、Y、Z为坐标轴的空间直角坐标系中，该用于微纳样品的原位复合加载与测量装置包括沿X坐标轴的正方向依次设置的左加载调节组件和右加载调节组件，所述左加载调节组件含有沿X坐标轴的正方向依次连接的左部旋转压电陶瓷电机(3)、左部垂直直线压电陶瓷电机(4)和左部水平直线压电陶瓷电机(5)，左部旋转压电陶瓷电机(3)能够驱动左部垂直直线压电陶瓷电机(4)和左部水平直线压电陶瓷电机(5)以X坐标轴为轴旋转，左部垂直直线压电陶瓷电机(4)能够驱动左部水平直线压电陶瓷电机(5)沿Z坐标轴的方向移动，所述右加载调节组件含有沿Z坐标轴的方向依次连接的右部连接块(12)和右部推进直线压电陶瓷电机(13)，右部推进直线压电陶瓷电机(13)能够驱动右部连接块(12)沿X坐标轴的方向移动。2.根据权利要求1所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，左部水平直线压电陶瓷电机(5)连接有左部样品固定平台(6)，左部样品固定平台(6)位于左部水平直线压电陶瓷电机(5)和该右加载调节组件之间，左部水平直线压电陶瓷电机(5)能够驱动左部样品固定平台(6)沿Y坐标轴的方向移动。3.根据权利要求2所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，左部样品固定平台(6)呈凸字形，左部样品固定平台(6)的顶部为朝向所述右加载调节组件凸出的凸出部，左部样品固定平台(6)的底部与左部水平直线压电陶瓷电机(5)连接固定，左部样品固定平台(6)为片状结构，左部样品固定平台(6)与X坐标轴平行。4.根据权利要求3所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其特征在于，左部样品固定平台(6)的顶端外连接有传感器模块(7)。5.根据权利要求1所述的用于微纳样品的原位复合加载与测量装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：申亚京，陆豪健，
申请(专利权)人：香港城市大学深圳研究院，
类型：发明
国别省市：广东,44
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