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一种滤波器封装元件，包括夹裹在下电极与一组上电极之间的一组压电薄膜：各个压电薄膜和上电极通过绝缘材料分隔开来；下电极连接至一转接板，下电极和转接板之间具有第一腔体；滤波器封装元件还包括具有既定的厚度的硅晶圆，与在硅晶圆和硅盖之间的一组上层腔...
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