下载半导体存储装置及其制造方法的技术资料

文档序号:19010617

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种半导体存储装置及其制造方法。实施方式的半导体存储装置包括:连接部件,包含半导体材料;第一电极膜,设置在所述连接部件的至少上方;第一绝缘膜,设置在所述第一电极膜上;积层体,设置在所述第一绝缘膜上,并且由第二电极膜及第二绝缘膜交替...
该专利属于东芝存储器株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东芝存储器株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。