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基于两步载波拼接法的数字莫尔移相干涉测量方法技术
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下载基于两步载波拼接法的数字莫尔移相干涉测量方法的技术资料
文档序号:19007851
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本发明公开的基于两步载波拼接法的数字莫尔移相干涉测量方法,属于光电检测领域。本发明实现方法如下:建立虚拟干涉仪,在虚拟干涉仪的像面上得到理想系统剩余波前;获取被测面形在不同空间载波下的两幅实际干涉图;采用数字莫尔移相干涉方法分别对两幅干涉图...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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