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一种共光路干涉条纹投射装置制造方法及图纸
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下载一种共光路干涉条纹投射装置的技术资料
文档序号:19007850
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本发明公开了一种共光路干涉条纹投射装置,包括:光源、会聚透镜、孔径光阑、准直透镜、可调光阑、显微物镜、干涉条纹产生装置和工业相机。光源发出的光束,先后经过会聚透镜和孔径光阑作用,再经过准直透镜和可调光阑作用,入射到显微物镜内形成高质量的点光...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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