温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种二维材料电极制作装置，包括一基座、一基于伺服控制的传送带，传送带上设有多个电动卡钳，还包括基于伺服控制的光刻刀、刻蚀刀以及等离子体刻蚀刀，光刻刀、刻蚀刀及等离子体刻蚀刀的上端分别设有基于伺服控制的第一、第二、第三液压伸缩...
该专利属于苏州锐材半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州锐材半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。