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本发明涉及氮化硅制备领域，公开了一种氮化硅粉体的制备方法，包括：1）设备预热；2）物料加热：分别将硅粉和氨气的混合物、氮气通入微波等离子预热器的盘管内混合预热至700‑750℃，然后将物料通入悬浮反应器内腔的加热区内继续加热；同时向加热区通...
该专利属于浙江东瓷新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江东瓷新材料有限公司授权不得商用。

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