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本实用新型公开了一种单晶金刚石制备装置，包括用于进行等离子体气相沉积的反应腔以及与反应腔连通的第一进气通道和第二进气通道，第二进气通道的路径上设有掺杂装置，掺杂装置用于盛放水溶液，气体通过第二进气通道进入反应腔之前，先经过掺杂装置，以在气体...
该专利属于宁波晶钻工业科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波晶钻工业科技有限公司授权不得商用。

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