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压电MEMS传感器、声换能器和电子器件制造技术
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文档序号:18996836
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一种压电型MEMS传感器、具体地麦克风(50),形成于采用半导体材料的容纳柔顺部分(54)的膜(52)中,该柔顺部分从该膜的第一表面(52a)延伸至第二表面(52b)。该柔顺部分(54)具有低于该膜(52)的其余部分的杨氏模量。具有半导体材...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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