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本发明公开了一种晶圆搬运机械手臂，涉及半导体零件输送领域。包括主体和搬运装置，所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座，所述固定座上转动连接有转动座，所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构；所述搬运装置包括穿设在所述转动座上的滑...
该专利属于上海众鸿电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海众鸿电子科技有限公司授权不得商用。

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