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本发明提供一种超薄零件研磨抛光夹具：在所述研磨抛光夹具的工作面上设置有多个孔通过负压吸附原理夹持超薄零件；所述研磨抛光夹具的工作面上设置有多个孔为规则的。本发明的超薄零件研磨抛光夹具对工件的厚度和尺寸适用范围广，对工件的材料无特殊要求；夹具...该专利属于南京航空航天大学;南京航空航天大学无锡研究院所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学;南京航空航天大学无锡研究院授权不得商用。