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本实用新型提出一种水冷装置及单晶硅生长炉。本实用新型的水冷装置用于单晶硅生长炉，包括法兰盘和第一管道。法兰盘设于炉体顶部，炉盖设于法兰盘上，法兰盘设有能与外界连通的第一进水口和第一出水口。第一管道设于炉体内并沿竖直方向往复螺旋盘绕，以形成包...
该专利属于包头市山晟新能源有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过包头市山晟新能源有限责任公司授权不得商用。

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