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本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的晶体高度测量装置,包括设置在炉体上的密封法兰,密封法兰中活动穿设有可以任意位置停留在密封法兰内的测量石英棒,炉体外侧上部设有测量支架,测量支架上设有测量刻度,测量支架上设有位置可上下调节的上限位装置,测量支...该专利属于苏州晶樱光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶樱光电科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的晶体高度测量装置,包括设置在炉体上的密封法兰,密封法兰中活动穿设有可以任意位置停留在密封法兰内的测量石英棒,炉体外侧上部设有测量支架,测量支架上设有测量刻度,测量支架上设有位置可上下调节的上限位装置,测量支...