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本发明公开了一种可变MEMS微波滤波器的发卡型可变电极单元结构，包括：硅衬底；设置在所述硅衬底第一面上的发卡型谐振器电极；设置在所述硅衬底第一面上的电极延伸结构，且所述电极延伸结构位于所述发卡型谐振器电极的端部延伸位置；设置在所述发卡型谐振...
该专利属于江苏硅华电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏硅华电子科技有限公司授权不得商用。

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