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本发明公开了一种籽晶保护装置及单晶生长方法。该籽晶保护装置，包括：石英舟，包含：石英舟本体，用于存放晶体原料；以及籽晶引入通道，包含：通道弧形部分，用于存放籽晶和/或作为籽晶的滑入通道，该通道弧形部分高于熔融后的晶体原料所在的水平线；以及凹...
该专利属于中国科学院半导体研究所;中国科学院大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所;中国科学院大学授权不得商用。

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