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一种垂直结构p-金刚石/i-SiC/n-金刚石LED制造技术
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下载一种垂直结构p-金刚石/i-SiC/n-金刚石LED的技术资料
文档序号:18958266
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本实用新型公开了一种垂直结构p‑金刚石/i‑SiC/n‑金刚石LED,包括依次层叠设置的单晶金刚石衬底、p型硼高掺杂金刚石层、i型碳化硅层和n型磷高掺杂金刚石层,所述单晶金刚石衬底向外依次设置欧姆接触电极和保护金属层,所述n型磷高掺杂金刚石...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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