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本发明提供一种低频柔性能量采集器和自供能运动计数器，所述低频柔性能量采集器包括：柔性衬底；支撑块，所述支撑块位于所述柔性衬底上；悬臂梁，所述悬臂梁的第一端固定于所述支撑块上，所述悬臂梁的第二端为自由端；压电薄膜，所述压电薄膜位于所述悬臂梁的...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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