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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:18946023
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本发明提供一种半导体装置及其制造方法。在制造半导体装置的方法中,在衬底上形成第一有源鳍片至第三有源鳍片。第一有源鳍片至第三有源鳍片中的每一个在第一方向上延伸,且第二有源鳍片、第一有源鳍片及第三有源鳍片在第二方向上以此顺序设置,第二方向与第一...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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