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一种图形化外延结构激光剥离装置制造方法及图纸
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下载一种图形化外延结构激光剥离装置的技术资料
文档序号:18946016
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本发明涉及一种图形化外延结构激光剥离装置,它包括基片、整型结构、透射率调整结构、图形化外延结构、气体传输系统、紫外光源、剥离室以及进光窗口,剥离室两侧分别设计有气体传输系统,剥离室上面设计有进光窗口,紫外光源设计在进光窗口外侧上方,图形化外...
该专利属于南通中铁华宇电气有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通中铁华宇电气有限公司授权不得商用。
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