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本发明至少提供一种位线接触栓塞的制造方法，包括：提供一衬底，衬底具有在绝缘层中的位线接触孔；将具有位线接触孔的衬底置入一沉积炉管机台中，并通过化学气相刻蚀方法去除形成于位线接触孔底部的自然氧化层，其中，自然氧化层形成于衬底在进入沉积炉管机台...
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