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本发明提供一种真空吸附底座，用于真空吸附玻璃基板。所述真空吸附底座包括：基台、主底座和至少一个副底座；所述主底座固定于所述基台的表面，所述主底座包括远离所述基台的第一表面，所述第一表面设有第一吸附槽，所述主底座上设有与外部真空源连接的第一真...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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