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衬管组件、等离子体处理装置和等离子体处理基板的方法制造方法及图纸
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下载衬管组件、等离子体处理装置和等离子体处理基板的方法的技术资料
文档序号:18945781
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本申请涉及衬管组件、等离子体处理装置和等离子体处理基板的方法。本发明揭示一种等离子体处理装置,该等离子体处理装置包含腔室盖、腔室主体及支撑组件。该腔室主体界定处理容积,该处理容积用于含有等离子体,该腔室主体用于支撑该腔室盖。该腔室主体由腔室...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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