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本发明公开了一种微流量控制装置多层孔板多通道气体节流组件的制造方法，包括如下步骤：采用光刻的方法对孔板进行刻蚀；对孔板进行微孔激光加工；将激光加工后的孔板和盖板进行扩散焊接形成多层孔板多通道气体节流组件。本发明通过刻蚀孔板、激光加工、扩散焊...
该专利属于北京控制工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京控制工程研究所授权不得商用。

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