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流体控制装置和流体控制装置用程序存储介质。流体控制装置包括:流量测量部,测量流过流道内的流体的流量;流体控制阀,设置在流道上;开度操作量输出部,将基于预先设定的设定流量与流量测量部的测量流量的偏差和预先设定的控制系数得到的流体控制阀的开度操...
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