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光波导转向耦合结构组合体和光波导转向对准监控系统技术方案
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文档序号:18938307
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本发明提供了光波导转向耦合结构组合体和光波导转向对准监控系统。光波导转向耦合结构组合体包括:光波导结构,其包括第一覆盖区域、光波导区域、第二覆盖区域,通过第一覆盖区域和第二覆盖区域与光波导区域的配合使光场被限制在光波导区域传输;转向组合体结...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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