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缺陷检查系统、膜制造装置及方法、印刷装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:18936879
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本发明提供能够减少由搬运过程中的膜中产生的颤动带来的影响从而适当地向膜记录缺陷信息的缺陷检查系统、膜制造装置、膜制造方法、印刷装置以及印刷方法。缺陷检查系统具备:搬运线,其搬运长条带状的膜;缺陷检查装置,其进行由搬运线搬运的膜的缺陷检查;以...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。
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