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本发明公开了基于视觉图像处理的微纳平台运动测量系统及方法，微纳平台的上表面固定AFM探针，所述显微镜的物镜对准AFM探针，通过检测探针的位置来测量微纳平台的运动精度；所述摄像头采集AFM探针的图像，将所采集的图像上传给计算机终端，所述计算机...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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