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本发明提出一种用于多晶硅铸锭坩埚的盖板，包括盖板本体，盖板本体中开设有进气孔，盖板本体下方装设有气流挡板，该气流挡板的位置与进气孔位置对应，盖板本体与气流挡板之间留有供气流排出的间隙。该用于多晶硅铸锭坩埚的盖板在进气孔周围开设挂孔，然后通过...
该专利属于嘉兴耐进新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴耐进新材料有限公司授权不得商用。

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