下载一种离子源弧光室发射面板的固定结构的技术资料

文档序号:18923721

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本实用新型公开一种离子源弧光室发射面板的固定结构,圆形基座上方设置源体腔,源体腔内设置加热坩埚,源体腔的上方设置弧光室,弧光室的最上方为发射面板;所述源体腔的上方设置定位凸台,所述定位凸台上设置通孔,固定杆穿过所述通孔,固定杆的上方挂钩压在...
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