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本发明教示一种等离子蚀刻的喷头异常监测系统及方法。该等离子蚀刻的喷头异常监测方法包括，将监控片固定于等离子体刻蚀机的下电极组件上，并确定所述监控片上的复数个监测点的位置；经喷头流出聚合物反应测试的沉积气体，所述沉积气体沉积在所述监控片上，形...
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