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一种基板冷却加工装置制造方法及图纸
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下载一种基板冷却加工装置的技术资料
文档序号:18905972
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本实用新型提供一种基板冷却加工装置,包括:机床:包括工作台、刀具、主轴和机架,主轴一端可转动连接于机架上,主轴另一端与刀具连接,工作台设于刀具的刀口下方;工作台上方设有垫板;第一喷嘴:包括第一喷嘴座和第一喷头,第一喷嘴座一端设有第一进液口,...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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