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一种基于3D打印技术的柔性压力传感器芯片及其制作方法技术
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文档序号:18905593
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一种基于3D打印技术的柔性压力传感器芯片及其制作方法,芯片包括柔性上极板,柔性上极板和均匀分布微型金字塔阵列的柔性下极板相接触,在柔性上、下极板接触表面制作柔性薄膜电极,柔性上、下极板上的柔性薄膜电极分别通过导线与外部电路相连接;制作方法先...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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