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基于二维薄膜的超陡亚阈值摆幅场效应晶体管及制备方法技术
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下载基于二维薄膜的超陡亚阈值摆幅场效应晶体管及制备方法的技术资料
文档序号:18897786
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本发明实施例提供了一种基于二维薄膜的超陡亚阈值摆幅场效应晶体管,包括:衬底、第一电极、第二电极、阻变层、二维薄膜、背栅控制信号装置及源漏信号输入装置。本发明实施例还提供了一种基于二维薄膜的超陡亚阈值摆幅场效应晶体管的制备方法,用来制备所述基...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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