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本发明提供一种硬掩模用组合物，其通过包含含有下述化学式1的重复单元的聚合物及溶剂，从而能够形成平坦性、溶解性和耐蚀刻性同时提高的硬掩模。化学式1中，Ar1和Ar2各自独立地为苯二基或萘二基，Ar3和Ar4各自独立地为苯基或萘基，Ar1、Ar...
该专利属于东友精细化工有限公司;崔相俊所有，仅供学习研究参考，未经过东友精细化工有限公司;崔相俊授权不得商用。

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