下载全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法的技术资料

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本发明提供一种检测精度较高的全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法。全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置,在直线导轨上设置有溜板,在直线导轨的下方设置有水槽,在L形辅助检测支架的下板上设置有元件孔,在元件孔内设置有辅助检测...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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