下载一种晶硅选择性发射极产业化印刷对位方法的技术资料

文档序号:18865921

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本发明公开了一种晶硅选择性发射极产业化印刷对位方法,包括以下步骤:步骤一、硅片预处理;步骤二、P‑N结的制备;步骤三、SE激光掺杂;步骤四、MARK点的制备:调整激光参数,使得MARK点在镭射制备过程中的激光打标能量均要高于SE激光掺杂的能...
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