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用于滚转角和直线度测量的激光干涉系统技术方案
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下载用于滚转角和直线度测量的激光干涉系统的技术资料
文档序号:18855641
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本发明涉及一种用于滚转角和直线度测量的激光干涉系统,让角位移的信息量在两束频率不同的激光的光程差中体现出来,实现滚转角与直线度的测量,通过分光器件,使两束激光在同一个系统中分别携带不同的光学信息,以此反映出滚转角与直线度的变化,实现同一系统...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。
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