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提供如下一种ICP质谱分析装置：在进行冷却水系统的氩气吹扫时，能够抑制氩气的消耗量和氩气源的供给压力的变动地有效地排出残留水。构成为具备装置主体部(1)、冷却水系统(2)以及氩气供给系统(3)，其中，冷却水系统(2)对包括高频电源(12)、...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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