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异物检测装置和异物检测方法制造方法及图纸
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文档序号:18823925
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【技术问题】本发明提供一种能够高精度地检测在流路部流动的微小的异物的技术。【技术方案】本发明的异物检测装置包括:供流体流动的流路部;激光照射部,其以光路与上述流路部中的流体的流动方向交叉的方式设置,用于对该流路部内照射来自激光光源的激光,并...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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