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本发明提供一种制造单晶金刚石的方法、所述方法包括如下步骤：在辅助板的至少一部分表面上形成保护膜的步骤；准备金刚石籽晶衬底的步骤；将具有保护膜的辅助板和金刚石籽晶衬底布置在腔室内的步骤，在所述具有保护膜的辅助板中所述保护膜形成在所述辅助板上；...该专利属于住友电气工业株式会社;住友电工硬质合金株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友电气工业株式会社;住友电工硬质合金株式会社授权不得商用。