下载一种新型软体压电驱动器的技术资料

文档序号:18820336

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本实用新型涉及一种新型软体压电驱动器,包括:固定壳体、输出轴、第一驱动器、第二驱动器和第三驱动器,其中:固定壳体位置固定,三个压电驱动单元中的压电振子受到一定相位和幅值的驱动电压作用,中心轴受到压电驱动单元脚支座的摩擦力的作用运动,在三个压...
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