下载一种获得均匀组织和织构的溅射靶材用钽板轧制方法的技术资料

文档序号:18801230

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本发明公开一种获得均匀组织和织构的溅射靶材用钽板轧制方法,按以下步骤进行:对钽板采用多道次异步轧制,每道次完成后,将钽板相对于其进给方向水平旋转90°,并将钽板的两个轧制面互换,整个轧制过程中钽板的水平旋转方向一致。通过异步轧制,结合每道次...
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