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本实用新型涉及一种用于检测双层基板边缘缺陷的装置，包括第一摄像单元和第二摄像单元，且所述第一摄像单元的第一中心线和第二摄像单元的第二中心线分别与基板边缘法线的平面成第一夹角和第二夹角；照明单元发出的光通过双层基板的边缘到达第一摄像单元和第二...
该专利属于苏州精濑光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州精濑光电有限公司授权不得商用。

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