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垂直存储器中的浮动栅极存储器单元制造技术
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文档序号:18786612
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本发明涉及垂直存储器中的浮动栅极存储器单元。控制栅极形成于第一电介质材料叠层与第二电介质材料叠层之间。浮动栅极形成于所述第一电介质材料叠层与所述第二电介质材料叠层之间,其中所述浮动栅极包含朝向所述控制栅极延伸的突出部。电荷阻挡结构形成于所述...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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