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封接结构及其制备方法技术
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文档序号:18786517
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本发明公开了一种封接结构,包括陶瓷腔体、陶瓷引针、金属引针和导电层,所述陶瓷腔体的表面开设有通孔,所述导电层设置在所述通孔的孔壁表面,所述金属引针和所述陶瓷引针设置在所述通孔沿长度方向的不同段中并密封所述通孔,所述金属引针向所述陶瓷腔体外侧...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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