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本发明涉及光刻机技术领域，尤其为一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，包括主体箱与控制面板，所述主体箱的下端外侧设有防震垫，所述主体箱的上端外侧设有激光传感器与观察窗，且送片台的上端外表面活动安装有传送带，所述主体箱的内部设有传动轮与硅片盒...
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